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智能质量流量控制器,上海百思得电子有限公司

2021-10-22 02:57:01 7829次浏览

价 格:5000

上海百思得电子有限公司,自行研发、批量生产的――智能质量流量控制器,精密测量,完美控制,控制精度±1%FS(恒流)。

MFC-1系列质量流量控制器是以气体的质量流量为计量基准的流量计。其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性,同时具有测量精度高,计量的起始流量小,流通阻力小,耐腐蚀性能好等特点。

ZF-MFC-1系列质量流量控制器不仅具有精度高、重复性好、并有很好的流量稳定作用 (0.15MPa ~0.6MPa输出值保持不变)可程序设定流量、手/自动软切换、数字调零、不同气体系数修正、直接数字设定流量、稳定可靠,操作方便,并可直接与上位机连接,由上位机实现设定、控制、记录等功能,同时可输出4~20mA信号,可供远程仪表连接。

技术参数:

1、流量范围:0~100, 200, 300,500 SCCM(ml/min)

特殊规格另定

2、准 确 度:±2%FS

3、控制精度:±1%FS(恒流)

4、线 性:±2%FS

5、工作压差范围:0.1~0.5Mpa

6、耐 压:1Mpa

7、编程功能:多段程序设定流量(可配置)

8、工作环境温度:-10~+~+50℃

9、电源电压:DC15V/0.5A

10、控制方式:智能人工数显装置

11、输出信号:4~20mA

12、计算机接口:RS485

13、调零方式:数字调零

14、设定流量方式:键入

15、手/自动切换:无扰动

16、外形尺寸:168×30×132mm

17、重 量:0.92Kg

适用范围:

IC工业特种材料学科化学工业、石油工业、照明、医药、环保、真空、扩散、氧化、外延CVD、等离子刻蚀溅射 、离子注入镀膜设备、光纤、熔炼微反应装置、混汽配气系统、毛细管测量、气相色谱、热分析

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